1.金屬傳感元件
一個或多個由一段金屬絲制成的應(yīng)變儀傳感器可以連接到隔膜的表面。
隔膜上的壓力會拉伸電線并改變電阻。傳感器元件可以用粘合劑粘合到表面上,或者導(dǎo)體可以通過濺射直接沉積在隔膜上。后一種方法消除了粘合劑在高溫下失效的潛在問題,并且更容易構(gòu)建小型設(shè)備。
金屬線傳感器也可以通過在因壓力變化而移位的柱之間纏繞電線來制造。這種結(jié)構(gòu)也可以在更高的溫度下工作,因為不需要粘合劑將電線連接到柱子上。
2.半導(dǎo)體傳感元件
半導(dǎo)體材料,最常見的是硅,也可用于制造應(yīng)變計壓力傳感器。傳感元件的特性,特別是壓阻效應(yīng)的大小,可以通過摻雜來調(diào)節(jié);換句話說,通過在半導(dǎo)體中添加仔細控制數(shù)量的雜質(zhì)(摻雜劑)。
更輕摻雜的硅導(dǎo)致更高的電阻率和更高的規(guī)格因數(shù)。然而,這也增加了電阻和規(guī)格因數(shù)的熱敏感性。