1、線性度
電容傳感器通常在滿量程測(cè)量范圍(FSR)上具有0-10Vdc的輸出。在理想情況下,該輸出將是完全線性的,并且在任何點(diǎn)都不會(huì)偏離直線。然而,實(shí)際上與定義系統(tǒng)線性度的這條線會(huì)有輕微的偏差。通常,線性度指定為滿量程測(cè)量范圍的百分比。在校準(zhǔn)期間,將放大器的輸出與高精度標(biāo)準(zhǔn)的輸出進(jìn)行比較,并記錄差異。精度是線性度、分辨率、溫度穩(wěn)定性和漂移的函數(shù),其中線性度是主要因素。
2、穩(wěn)定性
穩(wěn)定性是多種不同的內(nèi)部和外部因素的函數(shù)。對(duì)于短期或相對(duì)測(cè)量應(yīng)用,穩(wěn)定性通常不是問題。但是,如果在很長(zhǎng)一段時(shí)間內(nèi)需要高精度,則在設(shè)計(jì)夾具、選擇組件和指定結(jié)構(gòu)材料時(shí)必須小心。
溫度通常是影響穩(wěn)定性的最大因素。溫度波動(dòng)不僅會(huì)導(dǎo)致電子漂移,還會(huì)導(dǎo)致夾具和探針膨脹和收縮。對(duì)于關(guān)鍵應(yīng)用,使用專為穩(wěn)定性設(shè)計(jì)的高質(zhì)量電容器、電阻器和電感器,以最大限度地減少電子影響。為了最大限度地減少機(jī)械影響,探頭可以用特殊的低熱系數(shù)材料制造,例如因瓦合金,有源電容探頭系統(tǒng)不應(yīng)用于高穩(wěn)定性應(yīng)用,因?yàn)閭鞲衅髦車娜魏尉植繙囟茸兓紩?huì)導(dǎo)致漂移。
3、校準(zhǔn)
對(duì)于低端接近傳感器,校準(zhǔn)通常并不重要,因?yàn)閭鞲衅鞯木€性度并不重要。根據(jù)設(shè)計(jì),大多數(shù)高性能在本質(zhì)上與滿量程測(cè)量范圍的大約+/-0.2%呈線性關(guān)系。一些電容制造商提供具有這種性能的傳感器,但是它們通常不適合高精度應(yīng)用。通過在放大器電路中添加可調(diào)斷點(diǎn)線性化,可以獲得改進(jìn)的性能。
在校準(zhǔn)期間,記錄放大器的輸出與目標(biāo)位置的關(guān)系。根據(jù)該數(shù)據(jù)生成最佳擬合直線。然后將每個(gè)記錄點(diǎn)與生成的直線進(jìn)行比較,計(jì)算并繪制百分比偏差。根據(jù)結(jié)果,可以進(jìn)行調(diào)整以將偏差改善到可接受的范圍內(nèi)。